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CS200H質量流量控制器&流量計
優勢
• 控制器工作溫度：90~120℃。
• 高控制精度：產品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應，響應時間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 高端產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。
• 產品尺寸符合國際通用的SEMI標準，RS485，DeviceNet通訊方式。
技術參數
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CS200 |
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| 類型 |
CS200-H |
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閥類型 |
常閉 |
無 |
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流量規格(N2) |
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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準確度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S. |
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響應時間 |
≤ 1sec |
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工作壓差范圍 |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
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最大工作壓力 |
0.45MPa |
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溫度系數 |
零點: ≤±0.1% F.S./℃；調節時: ≤±0.1% F.S./℃ |
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耐壓強度 |
3MPa |
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漏率 |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
金屬密封 |
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工作環境溫度 |
質量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ |
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輸入信號 |
數字: RS485 或 DeviceNet |
無 |
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輸出信號 |
數字:RS485或 DeviceNet |
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零漂 |
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
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電源 |
±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) |
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表面化學成分 |
Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） |
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表面粗糙度 |
10 Ra |
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標準接頭形式 |
雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭 |
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電源接頭形式 |
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 |
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連接高溫電纜 |
2m |
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重量 |
1.2Kg |
1Kg |
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SC167 CS200H 中文使用手冊2020.7.pdf
大?。?/span>2020-12-03 09:45:02
